[发明专利]无裂纹多晶硅棒的生产方法有效
| 申请号： | 201110066992.4 | 申请日： | 2011-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN102190302A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 海因茨·克劳斯 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丙林;张英 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及无裂纹多晶硅棒的生产方法。本发明尤其涉及一种通过从气相中沉积到细棒上生产多晶硅棒的方法，其中，在电极上方和/或棒对的桥下方引入一个或多个沉积条件下具有的电阻率低于多晶硅的材料构成的盘。本发明的方法获得的棒无裂纹并且无缺损的棒长度显著增加。 | ||
| 搜索关键词： | 裂纹 多晶 生产 方法 | ||
【主权项】：
一种通过从气相中沉积到细棒上生产多晶硅棒的方法，其中，在电极上方和/或棒对的桥下方引入一个或多个沉积条件下具有的电阻率低于多晶硅的材料构成的盘。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瓦克化学股份公司，未经瓦克化学股份公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110066992.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：导热油锅炉正压燃烧报警装置
- 下一篇：用于锅炉炉膛的双辐射换热盘管组件
