[发明专利]一种碲锌镉晶体的气相退火改性方法有效
申请号: | 201110067191.X | 申请日: | 2011-03-18 |
公开(公告)号: | CN102168313A | 公开(公告)日: | 2011-08-31 |
发明(设计)人: | 俞鹏飞;介万奇;王涛;徐亚东;何亦辉 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学 |
主分类号: | C30B33/02 | 分类号: | C30B33/02;C30B29/40 |
代理公司: | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人: | 王鲜凯 |
地址: | 710072 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及一种碲锌镉晶体的气相退火改性方法,技术特征在于:采用两步气相退火,第一步是用非金属Te作为气相退火介质,通过退火提高晶体的电阻率和探测器的能量分辨率。第二步是用Cd/Zn金属合金作为气相退火介质,通过退火消除晶片中的夹杂相,提高载流子的传输特性。本发明的有益效果:通过两步法气相退火来提高晶体的电阻率和载流子的传输特性,完全消除Te夹杂相,将载流子迁移率和寿命乘积值(μτ)从5.08~7.87×10-4cm2/V提高到1.21~1.58×10-3cm2/V,从而明显改善晶体质量和辐射探测器的性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 碲锌镉 晶体 退火 改性 方法 | ||
【主权项】:
一种碲锌镉晶体气相退火改性方法,其特征在于包括如下步骤:步骤1:将碲锌镉晶片插在石英支架上的凹槽内,然后一并置入并固定于石英管内的一端,非金属Te装入石英管的另一端;将石英管内抽成真空,当真空度达到8×10‑5Pa时,焊封石英管;将焊封好的石英管装入两段式退火炉,水平放置石英管,使晶片位于退火炉的一端,退火源非金属Te位于另一端;步骤2:在10小时之内将晶片端和退火源端的温度升到580℃,保温1200小时后以每小时50℃的速率降温,降至室温取出晶片;步骤3:去除晶片的损伤层,置换退火源非金属为Cd/Zn金属合金后,将石英管内抽成真空,当真空度达到8×10‑5Pa时,焊封石英管;将焊封好的石英管装入两段式退火炉,水平放置石英管,使晶片位于退火炉的一端,退火源Cd/Zn金属合金位于另一端;步骤4:在10小时之内将晶片端的温度升到800~750℃,退火源端的温度升到650~600℃,保温600小时后将晶片端和源端温度同时降至200℃并保温600小时,然后以每小时50℃的速率降温,降至室温取出晶片,得到气相退火改性的碲锌镉晶体。
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