[发明专利]一种碲锌镉晶体的气相退火改性方法

摘要

本发明涉及一种碲锌镉晶体的气相退火改性方法，技术特征在于：采用两步气相退火，第一步是用非金属Te作为气相退火介质，通过退火提高晶体的电阻率和探测器的能量分辨率。第二步是用Cd/Zn金属合金作为气相退火介质，通过退火消除晶片中的夹杂相，提高载流子的传输特性。本发明的有益效果：通过两步法气相退火来提高晶体的电阻率和载流子的传输特性，完全消除Te夹杂相，将载流子迁移率和寿命乘积值(μτ)从5.08～7.87×10-4cm2/V提高到1.21～1.58×10-3cm2/V，从而明显改善晶体质量和辐射探测器的性能。

主权项

一种碲锌镉晶体气相退火改性方法，其特征在于包括如下步骤：步骤1：将碲锌镉晶片插在石英支架上的凹槽内，然后一并置入并固定于石英管内的一端，非金属Te装入石英管的另一端；将石英管内抽成真空，当真空度达到8×10‑5Pa时，焊封石英管；将焊封好的石英管装入两段式退火炉，水平放置石英管，使晶片位于退火炉的一端，退火源非金属Te位于另一端；步骤2：在10小时之内将晶片端和退火源端的温度升到580℃，保温1200小时后以每小时50℃的速率降温，降至室温取出晶片；步骤3：去除晶片的损伤层，置换退火源非金属为Cd/Zn金属合金后，将石英管内抽成真空，当真空度达到8×10‑5Pa时，焊封石英管；将焊封好的石英管装入两段式退火炉，水平放置石英管，使晶片位于退火炉的一端，退火源Cd/Zn金属合金位于另一端；步骤4：在10小时之内将晶片端的温度升到800～750℃，退火源端的温度升到650～600℃，保温600小时后将晶片端和源端温度同时降至200℃并保温600小时，然后以每小时50℃的速率降温，降至室温取出晶片，得到气相退火改性的碲锌镉晶体。