[发明专利]液滴喷射头及其制造方法以及液滴喷射装置有效
| 申请号： | 201110069668.8 | 申请日： | 2011-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN102218914A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 大桥幸司 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/045 | 分类号： | B41J2/045;B41J2/16;H01L41/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 苗堃;金世煜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能得到良好的位移量的液滴喷射头及其制造方法以及液滴喷射装置。液滴喷射头(1000)具备：具有压力室(20a)的基板(20)；压电元件(30)，其形成在基板(20)上，具有第1电极(10)、第2电极(14)以及配置在第1电极(10)与第2电极(14)之间的由锆钛酸铅系铁电体形成的压电体层(12)；和喷嘴板(28)，其具有与压力室(20a)连通的喷嘴孔(28a)；其中，第1电极(10)至少在压电体层侧具有以镍酸镧为主成分的镍酸镧层，压电体层(12)具有镧及镍从镍酸镧层(10b)与压电体层(12)的界面向第2电极(14)减少的分布，镧分布于压电体层(12)的一部分，镍以在压电体层(12)的整体中具有多个峰的方式分布且至少一个所述峰具有被分割的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 喷射 及其 制造 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
一种液滴喷射头，其特征在于，具备：具有压力室的基板，压电元件，其形成于所述基板上，具有第1电极、第2电极和配置在所述第1电极与所述第2电极之间的由锆钛酸铅系的铁电体形成的压电体层，以及喷嘴板，其具有与所述压力室连通的喷嘴孔；其中，所述第1电极至少在所述压电体层侧具有以镍酸镧为主成分的镍酸镧层，所述压电体层具有镧浓度及镍浓度从所述镍酸镧层与所述压电体层的界面向所述第2电极减少的分布，所述镧浓度分布于所述压电体层的一部分，所述镍浓度以在所述压电体层的整体中具有多个峰的方式分布且至少一个所述峰具有被分割的状态。
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