[发明专利]TiO2-ZrO2复合氧化物薄膜紫外光探测器及其制备方法

摘要

本发明具体涉及一种以超薄石英为衬底，以纳米TiO2-ZrO2复合氧化物薄膜为基体，以Au、Pt或Ni为金属插指电极，以Al或Ag为光反射层的低表面态密度的高性能半导体紫外光电探测器及其制备方法。首先采用溶胶凝胶技术制备不同配比的TiO2-ZrO2复合氧化物薄膜，并在超薄石英衬底上生长成致密的纳米薄膜；再经过高强度紫外清洗机对薄膜进行处理；然后通过磁控溅射和标准的光刻、剥离技术在薄膜表面制成一定形状的叉指电极；最后在超薄石英片背面蒸镀一层反射层用以提高光的吸收效率。通过调整TiO2-ZrO2复合氧化物薄膜的不同配比，可以使本发明探测器的响应峰值在200nm到350nm紫外波段范围内可调。

主权项

一种TiO2‑ZrO2复合氧化物薄膜紫外光探测器，其特征在于：由超薄石英衬底(3)，采用溶胶凝胶法在石英衬底上制备的纳米TiO2‑ZrO2复合氧化物薄膜(2)、在纳米TiO2‑ZrO2复合氧化物薄膜上用磁控溅射法制备的Au、Pt或Ni金属插指电极(1)、在超薄石英衬底背面蒸镀的Al或Ag光反射层(4)构成，待探测的紫外光(5)从金属插指电极(4)的上方入射。