[发明专利]一种基板的化学处理方法有效
| 申请号： | 201110072644.8 | 申请日： | 2011-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN102651430A | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 孙亮;郝昭慧;孟春霞;秦颖;林承武 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/306;B01F3/04 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王加岭 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了基板的化学处理方法，包括用化学药液对基板进行化学处理以及回收化学药液，其中，a)所述用于基板化学处理的化学药液经过泡沫化；和/或，b)用泡沫化的化学药液吹扫回收基板上的化学药液。本发明方法能够有效减少化学药液使用量，同时可实现通过调节泡沫药液中的气液比，对基板表面的化学处理过程进行控制。此外，可以根据处理需要，使用微小泡沫化化学药液对基板上化学药液进行回收，利用泡沫柔软的特性，避免对基板表面造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 处理 方法 | ||
【主权项】：
基板的化学处理方法，包括用化学药液对基板进行化学处理以及回收化学药液，其特征在于，a)所述用于基板化学处理的化学药液经过泡沫化；和/或，b)用泡沫化的化学药液吹扫回收基板上的化学药液。
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