[发明专利]平面内谐振式直拉直压微悬臂梁结构及制备方法有效
| 申请号： | 201110072710.1 | 申请日： | 2011-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN102689869A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 陶亦涵;于海涛;许鹏程;徐铁刚;熊斌;李昕欣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种平面内谐振式直拉直压微悬臂梁结构及制备方法。其中，所述微悬臂梁结构包括：悬臂梁区、连接在所述悬臂梁区一侧的质量块区、及连接在所述悬臂梁区另一侧的参考电阻区，其中，所述悬臂梁区包括：相互分离的主悬臂梁、驱动微梁和敏感微梁，其中，驱动微梁作为驱动电阻，与驱动电源连接，敏感微梁作为敏感压阻，与所述参考电阻区所具有的多个电阻区共同形成电桥；所述驱动微梁与敏感微梁的宽度均远小于主悬臂梁的宽度。该结构工作在平面内谐振模态，通过激励微悬臂梁的平面内谐振模态可减少其在液体环境中工作的阻尼力，提高品质因数，进而改善传感器的检测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 谐振 拉直 悬臂梁 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种平面内谐振式直拉直压微悬臂梁结构，其特征在于包括：悬臂梁区、连接在所述悬臂梁区一侧的质量块区、及连接在所述悬臂梁区另一侧的参考电阻区，其中，所述质量块区包含金属薄膜区及分别连接所述金属薄膜区的两连接梁；所述悬臂梁区包括：相互分离且与所述质量块连接的主悬臂梁、与一连接梁相连的驱动微梁及与另一连接梁相连的敏感微梁；其中，用作驱动电阻的驱动微梁与用作敏感压阻的敏感微梁的宽度均远小于主悬臂梁的宽度；所述参考电阻区包括多个电阻区，所述多个电阻区与所述敏感微梁共同连接成电桥。
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