[发明专利]通过纳米线生长形成的单片高纵横比纳米尺寸扫描探针显微镜（SPM）尖端有效
| 申请号： | 201110073723.0 | 申请日： | 2007-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN102253245A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | G·M·科昂;H·F·哈曼 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G01Q70/16 | 分类号： | G01Q70/16;B82Y15/00;G01Q60/22;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 于静;杨晓光 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种扫描探针，其中通过从尖端的顶部部分生长外延纳米线来延伸微加工的锥体尖端。金属的颗粒例如金，可以终止所述纳米线以实现无孔径近场光学显微探针。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 纳米 生长 形成 单片 纵横 尺寸 扫描 探针 显微镜 spm 尖端 | ||
【主权项】：
一种用于获得全部平行的纳米线的方法，包括以下步骤：在衬底之上生长多个纳米线，其中所述纳米线的子集是平行的；对准所述衬底以便使平行的纳米线的所述子集平行于反应离子蚀刻束；以及蚀刻具有不平行于离子束的至少一段的纳米线。
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