[发明专利]ITO/氧化锌基复合透明电极发光二极管及其制备方法

摘要

本发明涉及一种ITO/氧化锌基复合透明电极发光二极管及其制作工艺。本发光二极管包括：在蓝宝石衬底上依次有缓冲层、本征层、n型氮化镓、量子阱、p型氮化镓和ITO/氧化锌基复合电流扩展层、n型金属电极(PAD）连接n型氮化镓，p型金属电极（PAD）连接ITO/氧化锌复合透明电流扩展层。其制作方法是：缓冲层、本征层、n型氮化镓、量子阱、p型氮化镓在MOCVD中依次生长完毕；ITO/氧化锌复合电流扩展层是用电子束蒸镀、磁控溅射依次将ITO薄膜、氧化锌薄膜沉积在p型氮化镓表面；用干法刻蚀暴露出n型氮化镓，退火后利用热蒸发生长金属电极。芯片尺寸为1mm×1mm，此种复合透明电极改善了p-GaN与电极层之间的接触，提高了LED芯片的光提取效率，提高了LED芯片的可靠性。

主权项

一种ITO/氧化锌基复合透明电极发光二极管，包括：蓝宝石衬底(1)、缓冲层(2)、本征层(3)、n型氮化镓(4)、量子阱(5)、p型氮化镓(6)、透明电极(7)，n型金属电极(8)连接n型氮化镓(4)、p型金属电极(9)连接透明电极(7),其中缓冲层(2)、本征层(3)、n型氮化镓(4)、量子阱(5)、p型氮化镓(6)是在MOCVD中依次生长完毕；其特征在于，所述透明电极(7)是ITO/氧化锌基透明导电薄膜，其中ITO透明导电薄膜的材质是Sn2O3:In2O3=1:9的铟锡氧化物，氧化锌基透明导电薄膜的材质是ZnO:Ga或ZnO:Al或ZnO:In；所述n型金属电极(8)是金属复合电极，材质是Ti/Al或Cr/Pt/Au；所述p型金属电极(9)是金属复合电极，材质是Ni/Au或Cr/Pt/Au。