[发明专利]用于感应耦合等离子体离子源的等离子体点燃器有效
| 申请号： | 201110075718.3 | 申请日： | 2011-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN102256430A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | A·格劳佩拉;S·克罗格;T·米勒;D·劳尔;S·张 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;王洪斌 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于感应耦合等离子体离子源的等离子体点燃器。公开了一种聚焦离子束(FIB)系统，该系统包括：感应耦合等离子体离子源；包含等离子体的绝缘等离子体室；传导源偏置电极，与等离子体接触并偏置到高压以控制样品和多个孔处的离子束能量。等离子体室内的等离子体用作包括一个或多个透镜的离子镜筒的虚拟源，所述透镜把聚焦离子束形成在待被成像和/或FIB处理的样品的表面上。等离子体由装配在镜筒附近或在镜筒处的等离子体点燃器启动，所述等离子体点燃器在源偏置电极上诱导高压振荡脉冲。通过在镜筒附近装配等离子体点燃器，连接源偏置电极到偏置电源的电缆的电容性影响被最小化。通过合适的孔材料选择，使孔的离子束溅射最小化。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 感应 耦合 等离子体 离子源 点燃 | ||
【主权项】：
一种聚焦离子束系统，包括：感应耦合等离子体离子源；在所述等离子体离子源处的源偏置电极；到所述源偏置电极的电连接；聚焦离子束镜筒，被配置成把离子束聚焦在样品的表面上；具有dc电压输出的源偏置电源；具有振荡输出波形的等离子体点燃器；第一电路，把dc电压从所述源偏置电源耦合到所述源偏置电极；以及第二电路，用于把振荡波形从等离子体点燃器耦合到源偏置电极。
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