[发明专利]一种TiO2/SiO2复合薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 201110075758.8 | 申请日： | 2011-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN102162086A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 王顺利;李培刚;唐为华;朱晖文;刘洋溢 | 申请（专利权）人： | 浙江理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种无机材料二氧化钛/二氧化硅(TiO2/SiO2)的制备，尤其是TiO2/SiO2复合薄膜的制备方法。本发明是采用磁控溅射法，把TiO2/SiO2复合纳米粉末，碾磨、充分混合均匀；然后压制成固体靶材，而后热处理，即制得靶材；用石英玻璃为衬底，以较低功率对靶材预溅射，然后升高射频功率，待机器各方面参数稳定一段时间，打开样片挡板开始沉积薄膜，沉积一定时间，地石英玻璃衬底表面上一层透明且发亮的沉积物即为TiO2/SiO2复合薄膜。本发明的优点：工艺可控性强，易操作，成本低，制得的产物纯度高。本发明所制备的产品具有广泛的用途。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tio sub sio 复合 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种TiO2/SiO2复合薄膜的制备方法，其特征是包括如下步骤：(1)按Si/Ti摩尔比为1∶1的量，称取TiO2/SiO2复合纳米粉末，用玛瑙碾钵碾磨使复合纳米粉末混合均匀；用压片机将TiO2/SiO2复合粉末压制成直径为50‑60mm的固体靶材，而后经580‑620℃热处理3h以上，即制得Si/Ti比为1/1靶材；(2)将干净的石英玻璃衬底固定在样品托上，关好各气阀后抽真空，直至真空度达到1.0×10‑4Pa以上，通入高纯气体氮气、氩气、或氦气，调节分子泵闸板阀，将气压调整到0.6Pa，打开射频源起辉，以小于60W的功率对靶材预溅射4‑5分钟，然后升高射频功率至150‑200W，打开样片挡板开始沉积薄膜，沉积时间为3小时以上，最后关射频源，停止起辉；即得石英玻璃衬底表面上的TiO2/SiO2复合薄膜。
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