[发明专利]固体摄像装置、制造固体摄像装置的方法和电子设备

摘要

本发明提供一种固体摄像装置、其制造方法和电子设备。该固体摄像装置包括：形成于半导体基板的表面侧上的第二导电型的半导体区；具有第一导电型的杂质区并且用于根据入射光量产生电荷并在其内部累积电荷的光电转换元件；具有第一导电型的杂质区的电荷保持区，由光电转换元件通过光电转换产生的电荷保持在电荷保持区中直至被读出为止；中间传输路径；和杂质层，其具有布置在光电转换元件和电荷保持区之间并在中间传输路径下面的区域中的第二导电型的杂质区，并且杂质层的杂质浓度比第二导电型的半导体区高。本发明可得到高图像质量的图像，并且可制造能够产生具有高质量图像的固体摄像装置。

主权项

一种固体摄像装置，其包括：第二导电型的半导体区，其形成于半导体基板的表面侧上；光电转换元件，其具有第一导电型的杂质区，并且所述光电转换元件根据入射光量产生电荷并在其内部累积所述电荷；电荷保持区，其具有所述第一导电型的杂质区，并且由所述光电转换元件通过光电转换而产生的电荷保持在所述电荷保持区中，直至所述电荷被读出为止；中间传输路径，其具有布置在所述光电转换元件和所述电荷保持区之间的区域中的所述第一导电型的杂质区，并且只有在曝光时段期间由所述光电转换元件产生并且超出预定电荷量的电荷通过所述中间传输路径而传输至所述电荷保持区中；和杂质层，其具有布置在所述光电转换元件和所述电荷保持区之间并在所述中间传输路径下面的区域中的所述第二导电型的杂质区，并且所述杂质层的杂质浓度比所述第二导电型的半导体区的杂质浓度高。