[发明专利]用于在线实时溅射深度测量的格林辉光放电光源有效
| 申请号： | 201110076714.7 | 申请日： | 2011-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN102253028A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 李小佳;万真真;王海舟;贾云海;余兴;张胜坤;罗剑秋 | 申请（专利权）人： | 钢铁研究总院 |
| 主分类号： | G01N21/67 | 分类号： | G01N21/67;G01B11/22;H01J17/40 |
| 代理公司： | 北京华谊知识产权代理有限公司 11207 | 代理人： | 刘月娥 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种用于在线实时溅射深度测量的格林辉光放电光源，属于金属材料分析-辉光光谱分析技术领域。包括阳极筒、阴极盘、放电腔和石英窗、气路、光纤装置五部分。与激光位移传感器联用，进行在线实时测量样品溅射深度；产生辉光放电的部分是尾部为锥形、头部为筒形阳极和杯形阴极；放电腔用石英玻璃密封，作为观测光谱信号的窗口；放电腔有一个氩气充气通道和两个抽气通道，形成的两个气体回路用来保持腔体内气压稳定和降低样品表面与阳极端面之间的气压；激光位移传感器将安装在光源石英窗的后方，正对样品溅射坑测量溅射深度；采用光纤装置传导辉光光谱信号。优点在于，既可用于激光三角测距，又能保证辉光光源良好的溅射效果和深度分辨率；溅射效果良好。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 在线 实时 溅射 深度 测量 格林 辉光 放电 光源 | ||
【主权项】：
一种用于在线实时溅射深度测量的格林辉光放电光源，包括阳极筒、阴极盘、放电腔和石英窗、气路、光纤装置五部分，其特征在于，与激光位移传感器联用，进行在线实时测量样品溅射深度；产生辉光放电的部分是尾部为锥形、头部为筒形阳极和杯形阴极；放电腔用石英玻璃密封，作为观测光谱信号的窗口；放电腔有一个氩气充气通道和两个抽气通道，形成的两个气体回路用来保持腔体内气压稳定和降低样品表面与阳极端面之间的气压；激光位移传感器将安装在光源石英窗的后方，正对样品溅射坑测量溅射深度；采用光纤装置传导辉光光谱信号。
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