[发明专利]激光诱导击穿光谱原位分析仪

摘要

一种激光诱导击穿光谱原位分析仪，属材料分析表征技术领域。包括激发光源系统、激光光束整形系统、分光系统、高速信号采集系统、信号解析系统、样品室真空系统、连续激发同步扫描定位系统以及样品表面成像系统。激光光源发出激光光束通过光束整形系统处理后，聚焦在可三维移动的被分析样品表面。样品室真空系统给被分析样品提供密闭环境以便充入保护气。分光系统和信号采集系统通过光电倍增管相互连接，在样品表面产生的等离子体光谱经过分光系统产生的光信号通过光电倍增管转换成电信号。数据处理系统对产生的光电信号进行处理和计算，输出样品中各元素含量、原位统计分布等结果。比现有技术的优势体现在功能的增加和样品范围的拓展。

主权项

一种激光诱导击穿光谱原位分析仪，由激发光源系统、激光光束整形系统、分光系统、高速信号采集系统、信号解析系统、样品室真空系统、连续激发同步扫描定位系统、样品表面成像系统组成；分光系统处于整个仪器的中心，激发光源系统和分光系统通过螺丝固定到分光系统上方，样品室真空系统固定到分光系统的入光口处，连续激发同步扫描定位系统位于封闭的样品室真空系统内，样品表面成像系统固定于样品室真空系统上方，高速信号采集系统放置在样品室真空系统下侧，通过光电倍增管和分光系统相连接；激光光源系统产生的激光光束通过光束整形系统处理后聚焦于样品表面；样品室真空系统给样品室提供密闭环境以便充入保护气；分光系统和信号采集系统通过光电倍增管相互连接，在样品表面产生的等离子体光谱经过分光系统之后被光电倍增管转换成电信号；信号解析系统对该信号进行处理和计算，输出样品中元素种类、含量、以及深度分布分析或原位统计分布分析结果。