[发明专利]外延结构体有效
| 申请号： | 201110076901.5 | 申请日： | 2011-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN102723352A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 魏洋;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L33/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种外延结构体，该外延结构体包括：一基底，该基底具有一外延生长面；一第一外延层，其形成于所述基底的外延生长面；一第一碳纳米管层，其设置于所述外延层与基底之间；一第二外延层，其形成于所述第一外延层的远离基底一侧；以及，一第二碳纳米管层，其设置于所述第一外延层与所述第二外延层之间。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 结构 | ||
【主权项】：
一种外延结构体，其包括：一基底、一第一外延层和一第二外延层，该基底具有一外延生长面，该第一外延层形成于所述基底的外延生长面，所述第二外延层形成于所述第一外延层的远离基底的一表面，其特征在于，进一步包括至少二层碳纳米管层，所述至少二层碳纳米管层中的至少一层设置于所述第一外延层与基底之间，至少一层设置于所述第一外延层与第二外延层之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司，未经清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110076901.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
