[发明专利]一种等离子体诊断用显微镜调焦装置及其应用

摘要

本发明涉及一种等离子体诊断用显微镜调焦装置及其应用，该装置包括L型支架、一维调节平移台、U型支架、波纹管、向心关节轴承、指向调节器，U型支架、一维调节平移台、L型支架依次连接，主筒的一端与CCD探测器连接，另一端依次穿过指向调节器、U型支架、向心关节轴承、波纹管、L型支架后与物镜连接；该应用为，将调焦装置安装在靶腔法兰上，并调节靶的姿态和激光发生器，使激光的聚焦点对准靶；调节指向调节器使物镜指向靶，并调整物镜到靶的距离；将靶腔抽成真空状态并进行打靶实验。与现有技术相比，本发明可以在靶腔外面调节处于真空状态的靶腔内部物镜的轴向平移和指向，且调焦精度高、效率快，还能保护CCD探测器像元。

主权项

一种等离子体诊断用显微镜调焦装置，用于调节成像系统的物镜与物点之间的距离，所述的成像系统包括靶腔法兰、物镜、主筒、CCD探测器；其特征在于，该装置包括L型支架、带滑动块的一维调节平移台、U型支架、波纹管、向心关节轴承、指向调节器，所述的L型支架与靶腔法兰连接，所述的一维调节平移台设置在L型支架上，所述的U型支架固定设置在一维调节平移台的滑动块上，该U型支架的一端与向心关节轴承固定连接，另一端与指向调节器固定连接，所述的波纹管的一端与L型支架连接，另一端与U型支架连接，所述的主筒的一端与CCD探测器通过法兰连接，另一端依次穿过指向调节器、U型支架、向心关节轴承、波纹管、L型支架后与物镜通过法兰连接，所述的向心关节轴承通过轴承连接件与主筒连接，所述的轴承连接件一端与主筒焊接，另一端通过螺钉与向心关节轴承连接。