[发明专利]拼接光栅的高精密位姿调整装置

摘要

拼接光栅的高精密位姿调整装置，它涉及一种光栅组高精密位姿调整装置。以解决高精度光栅姿态调整装置无法实现多自由度光栅精密调整问题。俯仰调整单元由俯仰调整微驱动器驱动，带动俯仰调整右导轨滑块在相应的导轨上滑动，实现方向光栅独立调整；偏摆调整单元由偏摆调整微驱动器驱动，带动偏摆调整框架及前、后侧偏摆导轨滑块在相应的导轨上滑动，实现方向光栅独立调整；面内调整单元由面内调整微驱动器驱动，带动面内调整前、后侧导轨滑块在相应的导轨上滑动，实现光栅独立调整；直线调整单元由直线调整微驱动器驱动，带动带动直线调整框架及左、右直线导轨滑块在相应的导轨上滑动，实现方向光栅独立调整。本发明用于拼接后光栅组高精度位姿调整。

主权项

一种拼接光栅的高精密位姿调整装置，其特征在于：所述高精密位姿调整装置由俯仰调整单元、偏摆调整单元、面内调整单元、直线调整单元和调整基座(13)组成；俯仰调整单元由俯仰调整板(1)、俯仰调整右侧护板(6)、俯仰调整左侧护板(11)、俯仰调整导轨总成(7)、俯仰调整微驱动器(5)和俯仰调整连接件(4)组成，俯仰调整导轨总成(7)由一段俯仰调整左圆弧形导轨(21)、一段俯仰调整右圆弧形导轨(21)、一对俯仰调整左导轨滑块(20)和一对俯仰调整右导轨滑块(23)组成；所述偏摆调整单元由偏摆调整框架(8)、偏摆调整微驱动器(2)、偏摆调整支柱(3)、后侧偏摆调整导轨总成(16)和前侧偏摆调整导轨总成(10)组成，后侧偏摆调整导轨总成(16)由一段后侧偏摆圆弧形导轨(61)和一对后侧偏摆导轨滑块(62)组成，所述前侧偏摆调整导轨总成(10)由两段前侧偏摆圆弧形导轨(63)及两对前侧偏摆导轨滑块(64)组成；所述面内调整单元由面内调整框架(19)、面内调整微驱动器(15)、面内调整前侧护板(9)、面内调整后侧护板(17)、面内微驱动器连接件(14)和面内调整导轨总成组成，面内调整导轨总成由一段面内调整后侧圆弧形导轨(26)、一段面内调整前侧圆弧形导轨(28)、一对面内调整前侧导轨滑块(27)和一对面内调整后侧导轨滑块(29)组成；所述直线调整单元由直线调整框架(12)、直线调整微驱动器(30)和直线调整导轨总成(18)组成，所述直线调整导轨总成(18)由一段左直线导轨(65)、一对左直线导轨滑块(66)、一段右直线导轨(67)和一对右直线导轨滑块(68)组成；俯仰调整板(1)、偏摆调整框架(8)、面内调整框架(19)、直线调整框架(12)和调整基座(13)由上至下依次设置，俯仰调整左侧护板(11)与俯仰调整板(1)下端面的左端固接，俯仰调整右侧护板(6)与俯仰调整板(1)下端面的右端固接；偏摆调整框架(8)的左侧面沿其宽度方向固定有一段俯仰调整左圆弧形导轨(21)，该段俯仰调整左圆弧形导轨(21)上套装有一对与其滑动连接的俯仰调整左导轨滑块(20)，该对俯仰调整左导轨滑块(20)与俯仰调整左侧护板(11)固接；偏摆调整框架(8)的右侧面沿其宽度方向固定有一段俯仰调整右圆弧形导轨(22)，该段俯仰调整右圆弧形导轨(22)上套装有一对与其滑动连接的俯仰调整右导轨滑块(23)，该对俯仰调整右导轨滑块(23)与俯仰调整右侧护板(6)固接；俯仰调整微驱动器(5)与俯仰调整右侧护板(6)固接，俯仰调整微驱动器(5)通过俯仰调整连接件(4)与偏摆调整框架(8)的右侧面固接；偏摆调整微驱动器(2)固定于偏摆调整框架(8)上的后端，偏摆调整微驱动器(2)固接于偏摆调整支柱(3)上，偏摆调整支柱(3)固定在面内调整框架(19)上的后端，前侧偏摆调整导轨总成(10)和后侧偏摆调整导轨总成(16)由前至后设置在面内调整框架(19)的上端面上，两段前侧偏摆圆弧形导轨(63)相对于面内调整框架(19)长度方向的中心线对称并固定在面内调整框架(19)上的左端和右端，两段前侧偏摆圆弧形导轨(63)位于同一圆周上，两段前侧偏摆圆弧形导轨(63)均与面内调整框架(19)的上端面固接，每段前侧偏摆圆弧形导轨(63)上套装有一对与该段前侧偏摆圆弧形导轨(63)滑动连接的前侧偏摆导轨滑块(64)；后侧偏摆圆弧形导轨(61)设置在两段前侧偏摆圆弧形导轨(63)的后部，后侧偏摆圆弧形导轨(61)与面内调整框架(19)的上端面固接，后侧偏摆圆弧形导轨(61)上套装有一对与该后侧偏摆圆弧形导轨(61)滑动连接的后侧偏摆导轨滑块(62)；两对前侧偏摆导轨滑块(64)和一对后侧偏摆导轨滑块(62)均与偏摆调整框架(8)的下端面固接；面内调整前侧护板(9)与面内调整框架(19)下端面的前端固接，面内调整后侧护板(17)与面内调整框架(19)下端面的后端固接，一段面内调整前侧圆弧形导轨(28)和一段面内调整后侧圆弧形导轨(26)前后相对设置，且该段面内调整前侧圆弧形导轨(28)固定在直线调整框架(12)的前侧面上，该段面内调整后侧圆弧形导轨(26)固定在直线调整框架(12)的后侧面上，该段面内调整前侧圆弧形导轨(28)上套装有一对与其滑动连接的面内调整前侧导轨滑块(27)，该段面内调整后侧圆弧形导轨(26)上套装有一对与其滑动连接的面内调整后侧导轨滑块(29)，该对面内调整前侧导轨滑块(27)与面内调整前侧护板(9)固接，该对面内调整后侧导轨滑块(29)与面内调整后侧护板(17)固接；面内调整微驱动器(15)与面内调整后侧护板(17)固接，面内调整微驱动器(15)通过面内微驱动器连接件(14)固接于直线调整框架(12)的后侧；直线调整微驱动器(30)的前部与直线调整框架(12)的下端面固接，直线调整微驱动器(30)的后部固定在调整基座(13)的上端面上，一段左直线导轨(65)和一段右直线导轨(67)均沿调整基座(13)的宽度方向设置，该段左直线导轨(65)与调整基座(13)上端面的左端固接，该段右直线导轨(67)与调整基座(13)上端面的右端固接，该段左直线导轨(65)上套装有一对与其滑动连接的左直线导轨滑块(66)，该段右直线导轨(67)上套装有一对与其滑动连接的右直线导轨滑块(68)，一对左直线导轨滑块(66)和一对右直线导轨滑块(68)均与直线调整框架(12)的下端面固接。