[发明专利]一种表面集成碳纳米结构的碳微结构及其制备方法

摘要

本发明提供一种表面集成碳纳米结构的碳微结构的制备方法，包括：(1)预处理及光刻步骤，得到图案化的有机聚合物微结构；(2)沉积金属步骤：在所述有机聚合物微结构上沉积一层或多层金属层，作为催化剂；和(3)热解步骤：在惰性气体或其混合气体环境下进行多步热解，各步热解温度不同；通过上述步骤，即可形成表面集成碳纳米结构的碳微结构。本发明还提供了一种应用上述方法制备的碳微结构。本发明将厚胶光刻、金属沉积和热解相结合，提高了微结构的表面积，本发明的方法运用于微机电系统中，具有工艺简便、图形精细、结构牢固、成本低的特点，制备的碳微结构可作为微电极应用于微型电池、生物芯片、微型电化学传感器等微机电领域中。

主权项

一种表面集成碳纳米结构的碳微结构的制备方法，包括如下步骤：(1) 预处理及光刻步骤，得到图案化的有机聚合物微结构(1.1)预处理：光刻前在基片上刻蚀与所述有机聚合物微结构对应的微坑结构；(1.2)匀胶：在预处理后的基片上涂覆光刻胶，利用匀胶机进行匀胶；并对匀胶后的基片进行前烘处理；(1.3)曝光：将前烘处理后的基片使用掩膜版进行对准曝光，使曝光区域与基片上的微坑阵列重合，曝光后将基片进行中烘处理；(1.4)显影：对中烘处理后的基片进行显影，最后用去离子水冲洗，并进行后烘处理，得到有机聚合物微结构；(2)沉积金属步骤：在所述有机聚合物微结构上沉积一层或多层金属层，作为催化剂；(3)热解步骤：在惰性气体或其混合气体环境下进行多步热解，其中各步热解温度不同；通过上述步骤，即可形成表面集成碳纳米结构的碳微结构。