[发明专利]机械与化学交互作用测量装置有效
| 申请号： | 201110080675.8 | 申请日： | 2011-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN102252928A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 路新春;李静;赵德文;王同庆;何永勇;雒建斌 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N3/56 | 分类号： | G01N3/56;G01N17/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及化学机械抛光技术领域，公开了一种机械与化学交互作用测量装置，包括机架、摩擦力测量部分、杠杆加载部分、往复直线运动的氮化硅小球和三电极部分。本发明的装置可以模拟腐蚀条件下的磨粒磨损性能，实现了同时在线测量电化学参数和机械参数；可以测量化学机械抛光过程中单纯的化学腐蚀量、机械磨损量以及交互作用去除量，从而对化学机械抛光过程中的材料去除机理进行研究。 | ||
| 搜索关键词： | 机械 化学 交互作用 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种机械与化学交互作用测量装置，其特征在于，包括机架(6)、摩擦力测量部分、杠杆加载部分、往复直线运动的氮化硅小球(20)和三电极部分，其中，摩擦力测量部分包括设置于机架(6)上的气浮导轨外壳(8)和设置于所述气浮导轨外壳(8)内的气浮导轨(9)，以及与所述气浮导轨外壳(8)和所述气浮导轨(9)连接的摩擦力传感器(24)，所述杠杆加载部分包括设置于所述气浮导轨外壳(8)上的平行调节座(10)、设置于所述平行调节座(10)顶部的销轴(11)、设置于所述销轴(11)上的加载杠杆(15)，所述加载杠杆(15)的一端设置有配重杆(13)，另一端为向下垂直延伸的平面，所述三电极部分包括，设置于机架(6)上的电解池(4)，作为工作电极(18)的样品、辅助电极(2)、参比电极、鲁金毛细管(19)和电化学工作站(1)，所述电解池(4)内充有抛光液，所述工作电极(18)设置在所述加载杠杆(15)向下垂直延伸的平面上并且半浸在所述抛光液中，所述氮化硅小球(20)加载至工作电极(18)的表面，所述辅助电极(2)设置于工作电极(18)的正对面，所述参比电极的一端与所述鲁金毛细管(19)连接，鲁金毛细管(19)靠近所述工作电极(18)，所述工作电极(18)和辅助电极(2)分别与所述电化学工作站的相应端子连接，所述参比电极与所述电化学工作站的参比接口端子连接。
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