[发明专利]一种提高可靠性的晶闸管结构及生产方法无效
| 申请号： | 201110081546.0 | 申请日： | 2011-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN102157552A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 耿开远;周建;朱法扬;李建新 | 申请（专利权）人： | 启东吉莱电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/74 | 分类号： | H01L29/74;H01L29/08;H01L21/332 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 卢海洋 |
| 地址： | 226200 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高可靠性的晶闸管结构，该晶闸管的阴极区均布有短路条。本发明还公开了提高晶闸管可靠性的生产方法，包括：生长氧化层、光刻穿通步骤、穿通扩散步骤、短基区扩散步骤、光刻台面槽步骤和化学腐蚀台面槽步骤，在短基区扩散步骤和光刻台面槽步骤之间还增加了光刻阴极步骤和阴极扩散步骤，所述的光刻阴极步骤为：将晶闸管阴极的正面使用均布有短路条的阴极版进行光刻，背面使用光刻胶保护；所述阴极扩散步骤为：采用磷源对阴极进行扩散。本发明不仅改善了短路点的能力，而且短路条相比于短路点面积大幅增加，电流泄放能力也大大增加，大电流高电压冲击时能够快速泄放，短路条抗击穿能力大大增加，使得晶闸管的可靠性大大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 可靠性 晶闸管 结构 生产 方法 | ||
【主权项】：
一种提高可靠性的晶闸管结构，其特征是：所述该晶闸管的阴极区均布有短路条。
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