[发明专利]一种用于晶圆对准的模板图像质量反馈系统及其方法

摘要

本发明公开了一种用于晶圆对准的模板图像质量反馈系统及其方法，所述系统包括一可自由移动的机械运动平台，一晶圆托盘，一工业相机，一可变化照明光波波长范围的照明装置以及一主计算机；本发明的软件系统包括用户界面模块、图像采集模块、图像处理模块和设备控制模块。本发明能实时采集机械运动平台上的目标图像，通过软件系统中既定算法的处理后，从图像和模板图案中提取出模式识别/模板匹配相关的诸归一化的特征，并实时显示在用户界面上，本发明还包括一种能从给定的图像中找到最佳匹配模板的方法。

主权项

一种用于晶圆对准的模板图像质量反馈系统，其特征在于，所述系统包括一个能沿X、Y、Z三轴方向平动和绕Z轴转动的机械运动平台和与其连接的晶圆托盘，一个用于实时采集目标图像的工业相机，工业相机设置有若干个光学镜头，所述光学镜头能设置不同的孔径和视场；一个能调节照明光波波长范围的照明装置，一个测量装置以及一台用于控制上述设备的主计算机；所述主计算机包括其输入装置和输出装置，其软件模块包括用户界面模块、图像采集模块、图像处理模块和设备控制模块。