[发明专利]一种用于硒化或硫化处理的可控硒蒸汽或硫蒸汽的产生装置及方法有效
申请号: | 201110082240.7 | 申请日: | 2011-04-01 |
公开(公告)号: | CN102252307A | 公开(公告)日: | 2011-11-23 |
发明(设计)人: | 潘勇;范清喜;周杰;陈浩;李凯;周兆峰 | 申请(专利权)人: | 湘潭大学 |
主分类号: | F22B33/00 | 分类号: | F22B33/00;H01L31/18 |
代理公司: | 长沙市融智专利事务所 43114 | 代理人: | 颜勇 |
地址: | 411105*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于硒化或硫化处理的高活性可控硒或硫蒸汽的产生装置及方法。本发明将硒或硫蒸汽产生装置的存储功能和加热功能分开,较大的固态硒或硫源储料室可一次加足连续生产所需用量;较小的高温气化室保证了固态硒或硫的快速气化和硒或硫的活性,同时降低了加热能耗;连续送料装置将储料室的固态硒或硫送入到高温气化室产生硒蒸汽,通过控制送料速度实现了对硒或硫蒸汽的通断和浓度的控制。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 硫化 处理 可控 蒸汽 产生 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种用于硒化或硫化处理的可控硒蒸汽或硫蒸汽的产生装置,其特征在于,包括设有储料室进料口和储料室出料口的储料室、设有送料装置进料口和送料装置出料口的连续送料装置、设有气化室进料口和气体出口的气化室,所述储料室出料口与送料装置进料口相连,送料装置出料口与气化室进料口相连。
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