[发明专利]一种曝光机片库定位自动识别装置

摘要

本发明是一种电子束曝光机片库定位自动识别装置，其编码定位标尺通过上、下连接片固定在片库的侧面；编码光电开关和定位光电开关安装在U型板上，螺钉将U型板固定在片库箱体内部的后壁上；编码定位标尺安置在编码光电开关和定位光电开关之间，编码定位标尺的两侧边分别设有透光的定位狭缝和编码狭缝，编码定位标尺的两侧部位于编码光电开关和定位光电开关的凹槽中，编码定位标尺随片库在片库箱体内部上、下移动；定位光电开关用于判断上、下移动编码定位标尺时定位狭缝移动到片库的第N层的位置，编码光电开关检测出编码定位标尺位于片库中第N层位置的二进制编码数据，计算机识别二进制编码数据信息定位控制并命令机械手进行送取片动作。

主权项

一种曝光机片库定位自动识别装置，其特征在于：该装置是由编码定位标尺、编码光电开关、定位光电开关、U型板、上连接片、下连接片组成，编码定位标尺通过上连接片、下连接片被固定在片库的侧面；编码光电开关和定位光电开关都安装在U型板上，再通过螺钉将U型板固定在片库箱体内部的后壁预定的位置上；编码定位标尺安置在编码光电开关和定位光电开关之间，编码定位标尺的本体两侧边分别设有透光的定位狭缝和编码狭缝，编码定位标尺的两侧部位于编码光电开关和定位光电开关的凹槽中，编码定位标尺随片库在片库箱体内部上、下移动；定位光电开关用于判断上、下移动编码定位标尺时定位狭缝移动到片库的第N层的位置，如果编码定位标尺的定位狭缝移动到片库的第N层位置，编码光电开关对编码狭缝进行检测，检测出编码定位标尺位于片库中所述第N层位置的二进制编码数据识别信息，并把二进制编码数据识别信息传送给计算机，计算机则根据需要对片库中编码定位标尺的定位狭缝上、下运行的二进制编码数据识别信息进行准确定位控制，并命令机械手进行送取片动作，如果编码定位标尺没有移动到片库的第N层位置，由编码光电开关未检测出编码定位标尺位于片库中所述第N层位置的二进制编码数据识别信息，计算机则命令机械手停止送取片动作；片库箱体上开有出口槽，U型板通过出口槽进出片库。