[发明专利]一种非接触式主动阻尼装置有效
| 申请号： | 201110083202.3 | 申请日： | 2011-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN102230509A | 公开（公告）日： | 2011-11-02 |
| 发明（设计）人： | 陈学东;王仕博;徐振高;钱俊兵;袁方;罗欣 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | F16F15/03 | 分类号： | F16F15/03 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非接触式主动阻尼装置，包括阻尼器和驱动器两部分，阻尼器和驱动器电气连接，阻尼器包括固定不动的定子和与定子相分离的阻尼发生器，阻尼发生器相对于定子能够在一个方向上运动。阻尼装置由分离式动子和定子组成，通过主动控制方式调节驱动电路的驱动电流，从而实现阻尼力的主动控制。该阻尼装置能够实现对超精密减振器提供自适应变阻尼控制，有效地衰减减振台的高频振动。本发明可以为光刻机及其他的精密设备提供超静的环境。本发明提供的阻尼装置可用作小型超精密设备、精密仪器的基础支撑。将本发明提供的阻尼装置与空气弹簧、液压隔振器等被动阻尼装置串联使用，亦可对大型设备、大型仪器实现精密减振。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 主动 阻尼 装置 | ||
【主权项】：
一种非接触式主动阻尼装置，包括阻尼器和驱动器两部分，阻尼器和驱动器电气连接，其特征在于，所述阻尼器包括固定不动的定子（2）和与定子（2）相分离的阻尼发生器（3），其中阻尼发生器（3）相对于定子（2）能够在一个方向上运动。
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