[发明专利]微工程多极离子导向器有效
| 申请号： | 201110084633.1 | 申请日： | 2011-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN102214542A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 史蒂文·赖特;沙恩·马丁·欧普雷 | 申请（专利权）人： | 麦克诺塞伊可系统有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/22 | 分类号： | H01J49/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李春晖;李德山 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 描述了一种微工程多极离子导向器，所述微工程多极离子导向器用于小型质谱仪中。描述了以六极、八极和其它多极几何形状来装配极杆的示例方法。形成离子导向器的极杆被支撑在至少在第一和第二基板中限定的蚀刻硅结构中。 | ||
| 搜索关键词： | 工程 多极 离子 导向 | ||
【主权项】：
一种微工程质谱仪系统，包括：离子导向室，其包括限定离子导向器的多根极杆，第一组极杆被支撑在第一基板上，第二组极杆被支撑在第二基板上；以及分析室，其包括质量分析仪，其中所述离子导向器能够将离子导向分析室，并且被支撑的所述极杆绕离子束轴线排列成圆周状。
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