[发明专利]一种光学指标测量系统无效
申请号: | 201110085104.3 | 申请日: | 2011-04-06 |
公开(公告)号: | CN102564735A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 樊仲维;张晶;张国新 | 申请(专利权)人: | 北京国科世纪激光技术有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100192 北京市海淀区西小*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种光学指标测量系统,包括电荷耦合元件以及用以自高集成度系统内取出激光光束且提供给电荷耦合元件测量的光指标传送装置,该装置包括底座、镜框以及分别与底座、镜框相连接的可自由伸缩的支撑体,在镜框中设置有导光镜片。本发明优点在于,无需将系统分离成若干部分或部件进行离线测量,在线便可随意在紧凑结构中取出光束进行测量,大大提高了测量效率;通过在线测量,避免了若干离线测量结果对系统整体测量结果的干扰;适用于高集成度的系统,实用性强。 | ||
搜索关键词: | 一种 光学 指标 测量 系统 | ||
【主权项】:
一种光学指标测量系统,应用于高集成度复杂系统中,包括电荷耦合元件,其特征在于,还包括用以自高集成度系统内取出激光光束且提供给电荷耦合元件测量的光指标传送装置,该装置包括底座、镜框以及与底座、镜框相连接的支撑体。
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