[发明专利]一种提高压缩机滑片耐磨损性的薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种提高压缩机滑片耐磨损性的薄膜以及制备方法，该薄膜位于滑片基体表面，为多层膜结构，自滑片基体表面起，第一层是线性离子源辅助沉积的金属单质薄膜粘结层，第二层是金属单质薄膜过渡层，第三层是金属硬质碳化物薄膜过渡层，第四层是类金刚石碳膜层。与现有技术相比，本发明通过优化设计滑片基体表面的薄膜结构以及优化制备工艺，得到的薄膜具有硬度高、摩擦系数低、耐磨耐蚀性高、表面光滑、厚度均匀，以及膜基结合力高的优点，能够提高压缩机滑片的耐磨损性，从而使滑片基体能够在R410A或更高级别新冷媒以及润滑剂的环境下使用，并且提高滑片基体的使用寿命。

主权项

一种提高压缩机滑片耐磨损性的薄膜，位于压缩机滑片基体表面，其特征是：所述的薄膜是多层膜结构，自压缩机滑片基体表面起，第一层是线性离子源辅助沉积的金属单质薄膜粘结层，第二层是金属单质薄膜过渡层，第三层是金属硬质碳化物薄膜过渡层，第四层是类金刚石碳膜层；所述的线性离子源辅助沉积的金属单质薄膜粘结层是采用磁控溅射在基体表面沉积金属单质薄膜的同时开启线性离子源并通入氩气，在沉积金属单质薄膜的同时保持刻蚀状态进而形成的高结合力粘结层；所述的金属硬质碳化物薄膜过渡层是采用磁控溅射在基体表面沉积金属单质薄膜的同时开启线性离子源并通入碳氢气体，在金属单质薄膜与金刚石碳膜层之间形成的金属碳化物过渡层。