[发明专利]多级电离产生低能量高密度等离子体的装置及方法无效
| 申请号： | 201110087556.5 | 申请日： | 2011-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN102149247A | 公开（公告）日： | 2011-08-10 |
| 发明（设计）人： | 顾璠;张基栋;李森 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 汤志武 |
| 地址： | 211189 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种多级电离产生低能量高密度等离子体装置及方法。装置分三级：第一级由针尖电极与金属棒电极组成，第二级由筒状金属电极与金属棒电极组成，第三级由金属网电极与金属棒电极组成。多级电离产生低能量高密度等离子体方法：通入5～50m3/h气体，气体在第一级50～100W电源功率作用下初步电离，初步电离出的等离子体经第二级50～150W电源功率的电离产生较大密度且较均匀的等离子体，第一、二级电离出的等离子体经第三级50～150W电源功率的电离与此级对气流的扰动，最终，在低功率输入作用下喷出电子能量不超过1ev、电子密度量级高达1022/m3、截面直径为15～20mm的均匀非平衡态等离子体射流。 | ||
| 搜索关键词： | 多级 电离 产生 能量 高密度 等离子体 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种多级电离产生低能量高密度等离子体的装置，其特征在于该装置有三级电离工作区域：第一级由针尖电极(6)与金属棒电极(7)通过第一高压高频电源(2)形成放电回路；第二级由筒状金属电极(8)与金属棒电极(7)通过第二高压高频电源(4)形成放电回路，第三级由金属丝网电极(9)与金属棒电极(7)通过第三高压高频电源(5)形成放电回路；每级电极均固定在绝缘管道(10)形成的管道上，金属棒电极(7)设在绝缘管道(10)中，并且与绝缘管道(10)同轴线设置，在金属棒电极(7)与绝缘管道(10)之间形成可以流动气体的环形空间。
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