[发明专利]多路并行激光超声检测系统

摘要

本发明涉及一种激光超声检测装置，属于激光超声检测技术领域。该装置包括检测激光光源，前分光结构，采集结构，双折变晶体，偏振片，探测器，二分之一波片，前偏振分光棱镜，声光调制器，后偏振分光棱镜，后分光结构，被检测件，激光超声激励源，扩束结构，双向可调光阑，聚焦镜。本发明的装置能够针对大范围进行激光超声检测，并且激光超声检测速度可以大幅提高；采用线状超声激励源进行激励，使得各个监测点的超声场分布相同，解决了采用圆形激光光斑激励超声时各个采集点超声强度不一致的问题；本发明的装置扫面速度快，检测效率高，实用性强。

主权项

一种激光超声检测系统，包括检测激光光源、前分光结构、采集结构、双折变晶体、偏振片、探测器、二分之一波片、前偏振分光棱镜、声光调制器、后偏振分光棱镜、后分光结构、被检测件、激光超声激励源、扩束结构、双向可调光阑、聚焦镜；在所述的技术方案中，所述的检测激光光源为一个激光光源，可以是连续的激光光源也可以是高重复频率的脉冲激光光源；在所述的技术方案中，所述的前分光结构为由1至100个反射镜或者1至100个棱镜组成的光学结构，可以将入射的激光分成强度相同的1至100束，并平行出射；在所述的技术方案中，所述的采集结构为由1至100个反射镜或者1至100个棱镜组成的光学结构，可以实现对1至100束的入射激光进行同时接收并反射到适当位置；在所述的技术方案中，所述的双折变晶体可以是1至100个，用来分别对应每一束采集到的入射激光，也可以1个双折变晶体通过2路或多至光束数目的激光，实现干涉；在所述的技术方案中，所述的偏振片可以是1至100个，用来分别对应每一束采集到的入射激光，也可以是1个偏振片通过2路或多至光束数目的激光，实现偏振滤光的功能；在所述的技术方案中，所述的探测器可以是1至100个，用来分别对应每一束采集到的入射激光，也可以是1个探测器对应2路或多至光束数目的激光，实现采集干涉光场的功能；在所述的技术方案中，所述的二分之一波片，用来对入射的激光进行调节，使得最大能量的偏振光透过前偏振分光棱镜；在所述的技术方案中，所述的前偏振分光棱镜，用来对入射的激光进行调节，改变光的偏振方向与前偏振分光棱镜的滤光方向相同；在所述的技术方案中，所述的声光调制器，用来对入射的激光进行调制，改变光的频率；在所述的技术方案中，所述的后偏振分光棱镜，用来对入射的激光进行偏振分光，提高光的偏振度；在所述的技术方案中，所述的后分光结构为由1至100个反射镜或者1至100个棱镜组成的光学结构，可以将调制后的激光分成强度相同的1至100束，并平行出射。