[发明专利]微机电感测装置及其制作方法有效
| 申请号： | 201110087886.4 | 申请日： | 2011-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN102730623A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 王传蔚;蔡明翰 | 申请（专利权）人： | 原相科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G01L9/12 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 陈肖梅;谢丽娜 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提出一种微机电感测装置，其包含一基板、一微机电元件区、一膜层、一黏着层、一盖体、至少一个开口及多个导线。该基板包括一第一表面及一相对该第一表面的第二表面。该微机电元件区位于该第一表面上，且包括一腔室。该膜层覆盖于该微机电元件区上，并使该腔室成为一密闭空间。该盖体通过该黏着层固定于该微机电元件区上。该开口位于该盖体或该黏着层，且该开口允许该微机电感测装置的外部空气施压力于该膜层。该多个导线电性连接该微机电元件区，并延伸至该第二表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 电感 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种微机电感测装置，其特征在于，包含：一基板；一位于该基板上的微机电元件区；一膜层，覆盖于该微机电元件区上，并使该腔室成为一密闭空间；一黏着层；一盖体，通过该黏着层固定于该微机电元件区上；以及多个导线，电性连接该微机电元件区，并延伸至该第二表面上。
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