[发明专利]深紫外激光光致发光光谱仪

摘要

一种深紫外激光光致发光光谱仪，包括：一全固态深紫外激光器；一真空样品室与全固态深紫外激光器连接；一真空单色仪与真空样品室连接；一第一真空维持系统与真空样品室连接；一第二真空维持系统与真空单色仪连接；一低温系统和控温装置与真空样品室通过法兰连接；一样品架三维调整装置与真空样品室连接；一稳态发射谱探测系统与真空单色仪连接；一时间分辨光谱探测系统与真空单色仪连接；一真空泄漏安全系统的第一、第二控制端与第一真空维持系统连接，第三、第四控制端与第二真空维持系统连接，第五控制端与低温系统和控温装置连接；一计算机控制装置用于控制真空泄漏安全系统、真空单色仪、低温系统和控温装置、样品架三维调整装置、稳态发射谱探测系统和时间分辨光谱探测系统。

主权项

一种深紫外激光光致发光光谱仪，包括：一全固态深紫外激光器；一真空样品室，该真空样品室的激光输入接口与全固态深紫外激光器的激光输出接口通过法兰连接，以便将深紫外激光器发射的激光引入真空样品室，用于激发样品；一真空单色仪，该真空单色仪的入口与真空样品室的荧光输出口通过法兰连接，用于将样品发射的荧光引入单色仪；一第一真空维持系统，该第一真空维持系统与真空样品室连接，以维持真空样品室的真空状态，及测量真空度；一第二真空维持系统，该第二真空维持系统与真空单色仪连接，以维持真空单色仪的真空状态，及测量真空度；一低温系统和控温装置，该低温系统和控温装置与真空样品室通过法兰连接，用于控制样品的温度；一样品架三维调整装置，该样品架三维调整装置与真空样品室连接，用于调整样品的空间位置；一稳态发射谱探测系统，该稳态发射谱探测系统与真空单色仪的一个出口连接，用于稳态光谱信号的测量；一时间分辨光谱探测系统，该时间分辨光谱探测系统与真空单色仪的另一个出口连接，用于时间分辨光谱信号的测量；一真空泄漏安全系统，该真空泄漏安全系统的第一、第二控制端与第一真空维持系统连接，第三、第四控制端与第二真空维持系统连接，第五控制端与低温系统和控温装置连接，该真空泄漏安全系统用于在真空异常泄漏情况下，紧急关闭第一真空维持系统、第二真空维持系统、低温系统和控温装置，避免上述装置在真空度突然下降的情况下受到损坏；一计算机控制装置，该计算机控制装置用于控制真空泄漏安全系统、真空单色仪、低温系统和控温装置、样品架三维调整装置、稳态发射谱探测系统和时间分辨光谱探测系统。