[发明专利]一种III族氮化物发光二极管及其制作方法有效
申请号: | 201110087979.7 | 申请日: | 2011-04-08 |
公开(公告)号: | CN102185062A | 公开(公告)日: | 2011-09-14 |
发明(设计)人: | 王钢;江灏;郑致远 | 申请(专利权)人: | 中山大学 |
主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14;H01L33/00 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 禹小明 |
地址: | 510275 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种III族氮化物发光二极管及其制作方法,发光二极管包括衬底(1)以及层叠于衬底上的半导体外延叠层,该半导体外延叠层由下至上依次包括N型层(2)、发光层(3)和P型层(4),其特征在于,部分半导体外延叠层通过刻蚀,在N型层(2)中形成一N型层台面,该N型层台面上设置N型电极(7);在P型层(4)未刻蚀部分的上表面设置有P型电极(6);所述N型层(2)还包含有掺杂浓度一致的均匀掺杂层(2a)和掺杂浓度变化的调制掺杂层(2b),调制掺杂层(2b)设于均匀掺杂层(2a)和发光层(3)之间。本发明可以显著改善晶体质量和发光均匀性,提高光效,并提高了器件的可靠性,延长器件寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 iii 氮化物 发光二极管 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种III族氮化物发光二极管,包括衬底(1)以及层叠于衬底上的半导体外延叠层,该半导体外延叠层由下至上依次包括N型层(2)、发光层(3)和P型层(4),其特征在于,部分半导体外延叠层通过刻蚀,在N型层(2)中形成一N型层台面,该N型层台面上设置N型电极(7);在P型层(4)未刻蚀部分的上表面设置有P型电极(6); 所述N型层(2)包括掺杂浓度一致的均匀掺杂层(2a)和掺杂浓度变化的调制掺杂层(2b),调制掺杂层(2b)设于均匀掺杂层(2a)和发光层(3)之间。
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