[发明专利]一种新型酸性钼铝蚀刻液和制备工艺无效
| 申请号： | 201110088310.X | 申请日： | 2011-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN102181867A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 戈士勇 | 申请（专利权）人： | 江阴市润玛电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214423 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型酸性钼铝蚀刻液以及其制备工艺。该新型酸性钼铝蚀刻液包括磷酸、醋酸、硝酸、氯化钾、金属硝酸盐和纯水，上述原料中磷酸、醋酸、硝酸经强酸性阳离子交换树脂控制和去除其中的杂质离子后，由六种原料混合均匀而制成。该蚀刻液制备工艺包括常温常压下向保持配料罐搅拌器转速，向配料罐中依次加入磷酸、醋酸、硝酸、氯化钾、硝酸钾、纯水，充分搅拌后通入过滤器过滤制成钼铝蚀刻液。本发明中的钼铝蚀刻液颗粒度小，纯度高，可控制蚀刻角度和不同金属层的蚀刻量，提高蚀刻产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 酸性 蚀刻 制备 工艺 | ||
【主权项】：
一种新型酸性钼铝蚀刻液，其特征在于，所述钼铝蚀刻液包括磷酸、醋酸、硝酸、氯化钾、金属硝酸盐和纯水，上述原料经混合均匀而制成；所述原料中每种原料的重量百分比分别为：磷酸68％～70％、醋酸12％～14％、硝酸5％～6％、金属硝酸盐0.1％～0.2％、氯化钾0.2％～0.3％、其余为纯水；所述磷酸、醋酸、硝酸浓度分别为：磷酸85.5％、醋酸99.8％、硝酸61.5％。
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