[发明专利]近场光谱关联成像装置

摘要

一种光谱关联的近场成像装置，由光源、分光器、光源滤波器、偏振旋转器、四分之一波片、分光器、光源聚光镜、光纤、探针耦合座、探针、反射镜、检偏器、光谱滤波器、光谱收集镜、内光路摄谱仪、光电接收器、数据收集处理器、信号收集器、样品工作台、扫描控制器构成，本发明装置的优点可提高近场探测的高分辨率，整个装置全部固化、结构简单、容易操作。

主权项

一种近场光谱关联成像装置，其特征在于该装置包括光源(1)、分光器(2)、光源滤波器(3)、偏振旋转器(4)、四分之一波片(5)、分光器(6)、光源聚光镜(7)、光纤(8)、探针耦合座(9)、探针(10)、反射镜(11)、检偏器(12)、光谱滤波器(13)、光谱收集镜(14)、内光路摄谱仪(15)、滤波元件(1502)、分光元件(1503)、光电接收器(16)、数据收集处理器(17)、信号收集器(18)、样品工作台(19)、扫描控制器(20)、光电阵列接收器(21)，其位置关系是：光源1、分光器2、光源滤波器3、偏振旋转器4、四分之一波片5、分光器6、光源聚光镜7、光纤8、探针耦合座9、探针10、其位置关系是：信号收集器18、反射镜11、检偏器12、光谱滤波器13、光谱收集镜14、内光路摄谱仪15、光电接收器16、数据收集处理器17，其位置关系是：样品工作台19、扫描控制器20，光电阵列接收器21、数据收集处理器17，其位置关系是：光源(1)发射出光后经分光器(2)分光之后，分成两路光即物光路IO和参考光路IR，物光光路IO中光线经光源滤波器(3)、偏振旋转器(4)、四分之一波片(5)、分光器(6)、光源聚光镜(7)耦合到光纤(8)再传输到探针(10)照明样品工作台(19)上的样品，探针(10)直径尺寸小于波长照到样品上时将产生含有超分辨信息的隐失场的电磁波，信号收集器(18)中的光信号探针将收集到样品工作台(19)上样品与物光光路IO中光线相互作用在波长范围内产生的含有超分辨信息的隐失场转变为行波场经反射镜(11)、检偏器(12)、光谱滤波器(13)、光谱收集器(14)传输到内光路摄谱仪(15)分出所需要成像的光谱被光电接收器(16)接收送到数据收集处理器(17)中；另一路参考光路IR光线经分光器(2)分光后被光电阵列接收器(21)接收送到数据收集处理器(17)与物光路IO中带有样品隐失场的信息进行强度关联计算成像及测量数据处理。