[发明专利]一种降低薄膜太阳能电池内阻的方法

摘要

一种降低薄膜太阳能电池内阻的方法，解决了太阳能电池因内阻大降低转换效率的技术问题，设计了通过在衬底及太阳能电池层之间增设双层掺铝氧化锌膜，采用的技术方案是，一种降低薄膜太阳能电池内阻的方法，以上方法是：以TCO玻璃为原片、制备减小TCO玻璃与太阳能电池层接触电阻的缓冲层，关键在于：本方法中的缓冲层是沉积在TCO玻璃原片上的双层掺铝氧化锌(AZO)膜层。本发明的关键是：通过在衬底及太阳能电池层之间增设双层掺铝氧化锌膜，解决了TCO玻璃与电池层之间接触电阻大的问题，提高了太阳能电池的转换效率。

主权项

一种降低薄膜太阳能电池内阻的方法，以上方法的实施步骤中包括：以TCO玻璃为原片、制备减小TCO玻璃与太阳能电池层接触电阻的缓冲层，其特征在于：本方法中的缓冲层是由沉积在TCO玻璃原片上的第一掺铝氧化锌膜层、以及沉积在第一掺铝氧化锌膜层上的第二掺铝氧化锌膜层组成的双层掺铝氧化锌(AZO)膜层，所说的双层掺铝氧化锌(AZO)膜层中，所说的双层掺铝氧化锌(AZO)膜层中：第一掺铝氧化锌(AZO)膜层中，Al2O3的含量为1～3％，其余是氧化锌，膜层厚度为800～1200nm；第二掺铝氧化锌(AZO)膜层中，Al2O3的含量为2～6％，其余是氧化锌，膜层厚度为10～100nm。