[发明专利]玻璃基片材料无效
申请号: | 201110093014.9 | 申请日: | 2011-04-14 |
公开(公告)号: | CN102730968A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 郝寅雷;杨建义;王明华;王毅强 | 申请(专利权)人: | 上海光芯集成光学股份有限公司 |
主分类号: | C03C3/093 | 分类号: | C03C3/093 |
代理公司: | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人: | 王建国 |
地址: | 200072 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开一种玻璃基片材料,其包括SiO2、B2O3、ZrO2、Al2O3、Na2O和K2O,其中,B3+在玻璃中均以硼氧四面体的形式存在;全部Al3+进入玻璃网格;非桥氧原子的占总氧原子数目的比例不大于十分之一。使用这种玻璃材料作为基片材料制作集成光学芯片的有益效果是:由于该玻璃体系上述成分的特点,玻璃材料在熔融的硝酸盐中具有极好的化学稳定性,保证了离子交换工艺的顺利进行。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 材料 | ||
【主权项】:
一种玻璃基片材料,其特征在于:其包括SiO2、B2O3、ZrO2、Al2O3、Na2O和K2O,其中,B3+在玻璃中均以硼氧四面体的形式存在;全部Al3+进入玻璃网格;非桥氧原子的占总氧原子数目的比例不大于十分之一。
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