[发明专利]减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备

摘要

一种减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备，包括一蚀刻槽、设置于蚀刻槽内的一给药管以及包覆给药管的一气泡引导装置。所述气泡引导装置能引导自上述给药管排出的气泡往给药管的至少一端部移动。本发明的设备藉由气泡引导装置来引导自给药管排出的气泡往给药管的端部移动，故可减少因气泡导致太阳能电池表面的蚀刻痕的发生率。

主权项

一种减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备，适用于一太阳能电池的蚀刻工艺，其特征在于该设备至少包括：一蚀刻槽；一给药管，设置于该蚀刻槽内；以及一气泡引导装置，包覆该给药管，以便引导自该给药管排出的气泡往该给药管的端部移动。