[发明专利]一种自组装氧化钒薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 201110093811.7 | 申请日： | 2011-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN102206048A | 公开（公告）日： | 2011-10-05 |
| 发明（设计）人： | 徐小勇;向芸;胡学兵;邓爱萍;肖岚 | 申请（专利权）人： | 徐小勇 |
| 主分类号： | C03C17/23 | 分类号： | C03C17/23 |
| 代理公司： | 南昌佳诚专利事务所 36117 | 代理人： | 闵蓉;张建新 |
| 地址： | 337055 江西省萍*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种自组装氧化钒薄膜的制备方法，属于无机半导体功能材料领域。包括以下步骤：对衬底先用丙酮溶液超声清洗，再用去离子水超声清洗，最后用无水乙醇超声清洗后烘干；将烘干后的衬底放入十八烷基三氯硅烷-甲苯溶液中静置后在紫外光中照射；将V2O5和抗坏血酸溶解在水中，并加入稀HCl调整pH，至透明澄清蓝色溶液A；将醋酸铈和仲钨酸铵溶解在水中加入稀HCl调整pH形成溶液B；将溶液A和溶液B混合，边混合边搅拌加入聚乙二醇，然后密封陈化；将经紫外光照射后的衬底放入密封陈化后溶液中后提出烘干；最后在Ar气中热处理。本发明在较低温度下合成避免高温条件下氧化钒的毒性，简化了前躯体的制备的工艺流程，有利于环保和操作人员的健康。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组装 氧化 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种自组装氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）、对衬底先用丙酮溶液超声清洗，再用去离子水超声清洗，最后用无水乙醇超声清洗后烘干；（2）、将步骤（1）中烘干后的衬底放入十八烷基三氯硅烷‑甲苯溶液中，静置30‑60分钟取出，然后在紫外光中照射；（3）、将V2O5和抗坏血酸溶解在水中，并加入稀HCl调整PH为5‑6加热至30℃‑50℃搅拌30‑60分钟溶解为透明澄清蓝色溶液A；将醋酸铈和仲钨酸铵溶解在水中加入稀HCl调整PH为5‑6形成溶液B；将溶液A和溶液B混合，边混合边搅拌加入聚乙二醇，然后密封陈化48‑72小时备用；（4）、将步骤（2）中经紫外光照射后的衬底放入步骤（3）所得备用溶液中约30‑60分钟，提出烘干；（5）、将步骤（4）所得衬底在Ar气中热处理。
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