[发明专利]光学成像系统光学波前的单焦面高精度测试方法有效

专利信息
申请号: 201110095518.4 申请日: 2011-04-15
公开(公告)号: CN102252763A 公开(公告)日: 2011-11-23
发明(设计)人: 邵晶;马冬梅;聂真威;刘金国;郭永飞 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G01J9/00 分类号: G01J9/00
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 陶尊新
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 光学成像系统光学波前的单焦面高精度测试方法,涉及一种光学测试技术领域,它解决现有相位恢复算法中出瞳振幅分布不均匀和快速傅里叶变换引入计算误差的问题,并且为消除图像采集过程中振动对检测精度产生的影响提供解决方案,其方法:搭建光学成像系统的检测平台;采用检测平台中的探测装置检测待测镜头的焦面位置,探测装置获得待测镜头的离焦星点图像;根据获得的离焦星点图像选取有效数据,计算光学系统的光瞳函数;对获得的光瞳函数提取相位,获得光学成像系统的光学波前。所述计算光学系统的光瞳函数采用泽尼克多项式、扩展奈波尔泽尼克多项式和广义逆矩阵计算。本发明低成本、精度高,适合于光学成像系统的生产企业、科研和检测单位使用。
搜索关键词: 光学 成像 系统 单焦面 高精度 测试 方法
【主权项】:
光学成像系统光学波前的单焦面高精度测试方法,其特征是,该方法由以下步骤实现:步骤一、搭建光学成像系统的检测平台;步骤二、采用步骤一所述的检测平台中的探测装置检测待测镜头(4)的焦面位置,所述探测装置获得待测镜头(4)的离焦星点图像;步骤三、根据步骤二获得的离焦星点图像选取有效数据,计算光学系统的光瞳函数;所述计算光学系统的光瞳函数采用泽尼克多项式、扩展奈波尔泽尼克多项式和广义逆矩阵计算;具体为:采用泽尼克多项式乘以泽尼克系数的方式,光学系统的点扩散函数采用扩展奈波尔泽尼克多项式矩阵乘以泽尼克系数矩阵的方式,采用广义逆矩阵方式获得泽尼克系数,泽尼克多项式乘以所述的泽尼克系数,获得光瞳函数;对获得的光瞳函数提取相位,获得光学成像系统的光学波前。
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