[发明专利]阀门、操作阀门的方法、以及真空处理设备无效
| 申请号： | 201110097014.6 | 申请日： | 2011-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN102261516A | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 郑钟范 | 申请（专利权）人： | 亚威科股份有限公司;大明工程股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K51/02 | 分类号： | F16K51/02;F16K3/02;F16K31/12;F16K31/53 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 韩国大邱广域*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于开启及闭合开口部的真空形成阀门。所述阀门包括：封盖部，用于水平地移动以紧密地接触所述开口部或与所述开口部间隔开；轴单元，用于垂直地移动所述封盖；以及连杆单元，耦合至所述封盖部及所述轴单元，以将垂直运动变成水平运动并水平地移动所述封盖部。由单个操作部操作所述封盖部，以简化阀门。由于阀箱的正面与背面均被封盖，因而能可靠地维持腔室中的真空。甚至当腔室的压力发生变化而造成反压时，也能可靠地维持腔室中的真空。各气缸内的活塞相互连接以使各活塞以相同的速度移动，从而防止部件变形或受损。 | ||
| 搜索关键词： | 阀门 操作 方法 以及 真空 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种用于开启及闭合开口部的真空形成阀门，所述阀门包括：封盖部，相对于所述开口部在前后方向上移动，以紧密地接触所述开口部或与所述开口部间隔开；轴单元，用于在上下方向上移动所述封盖部；以及连杆单元，耦合至所述封盖部以及所述轴单元，以将所述轴单元的垂直运动变成水平运动并在所述前后方向上移动所述封盖部。
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