[发明专利]基于MEMS光阀的显示装置及其形成方法有效
申请号: | 201110097115.3 | 申请日: | 2011-04-18 |
公开(公告)号: | CN102236164A | 公开(公告)日: | 2011-11-09 |
发明(设计)人: | 毛剑宏;唐德明 | 申请(专利权)人: | 上海丽恒光微电子科技有限公司 |
主分类号: | G02B26/02 | 分类号: | G02B26/02;G09G3/34 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
地址: | 201203 上海市浦东新区张江*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 提供一种基于MEMS光阀的显示装置,包括:基底;基底表面的MEMS开关和MEMS光阀,MEMS开关包括:第一电极和第三电极;相对于第一电极和第三电极设置的第二电极,第二电极相对于第三电极具有接触凸起;当第一电极和第二电极具有电位差时,所述第二电极在静电力的作用下向第三电极靠拢,使得所述接触凸起与第三电极接触,以通过MEMS开关控制MEMS光阀。本发明还提供一种基于MEMS光阀的显示装置的形成方法。所述显示装置采用MEMS开关替代TFT开关,对显示装置显示信号的控制。所述MEMS开关结构简单,简化显示装置的制造工艺,降低制造成本。 | ||
搜索关键词: | 基于 mems 显示装置 及其 形成 方法 | ||
【主权项】:
一种基于MEMS光阀的显示装置,其特征在于,包括:基底;位于所述基底表面的MEMS开关和MEMS光阀,所述MEMS光阀至少包含有固定光栅和相对于固定光栅设置的可动光栅;所述MEMS开关电连接于MEMS光阀,通过MEMS开关施加电信号至MEMS光阀,控制MEMS光阀中可动光栅与固定光栅的相对位置;所述MEMS开关包括:第一电极和第三电极;相对于第一电极和第三电极设置的第二电极,第二电极相对于第三电极具有接触凸起;当第一电极和第二电极具有电位差时,所述第二电极在静电力的作用下向第三电极靠拢,使得所述接触凸起与第三电极接触,以通过MEMS开关控制MEMS光阀。
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