[发明专利]一种微纳结构制造装置及方法

摘要

本发明公开了一种微纳结构制造装置及方法，属于微纳制造领域，主要包括原子笔、镀液、原子笔架、原子力显微检测系统、阴极平台、微动工作台、微电量供电电源，其中装有镀液的原子笔固定在原子笔架上，原子笔架同原子力显微检测系统一体化连接，并对其进行粗定位和精确定位，阴极平台和微动工作台固定连接，阴极平台和微动工作台之间用绝缘材料隔开，原子笔芯和微电量供电电源的正极连接，阴极平台和微电量供电电源的负极连接。本发明由于微电量供电电源以及碳纳米管的应用使得原子组装、原子团沉积三维微纳成型变得更加简易、精确，该装置及对应成型方法对于微纳器件的精确制造、微/纳机电的进步、量子器件的研制都具有一定的意义。

主权项

一种微纳结构制造装置，其特征在于主要包括原子笔、镀液、原子笔架、原子力显微检测系统、阴极平台、微动工作台、微电量供电电源，其中装有镀液的原子笔固定在原子笔架上，原子笔架同原子力显微检测系统固定连接成一体，阴极平台和微动工作台固定连接，阴极平台和微动工作台之间用绝缘材料隔开，原子笔为导电材料，在原子笔笔筒端部加工微孔，原子笔笔芯为在笔筒上安装的微细金属针头，原子笔芯和微电量供电电源的正极连接，阴极平台和微电量供电电源的负极连接。