[发明专利]氮化铝膜及覆盖该膜的部件无效
| 申请号： | 201110097277.7 | 申请日： | 2011-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN102219558A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 加藤公二;狩野正树 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C04B41/85 | 分类号： | C04B41/85 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氮化铝膜及覆盖该膜的部件。提供一种很少发生颜色不均且很少受卤素气体腐蚀的氮化铝膜。本发明的氮化铝膜的特征在于其明度L*为60或小于60。比较理想的是：对波长0.35～2.5μm的透射率为15％或小于15％；A1以外的杂质浓度小于50ppm；经过1050℃～1400℃下的热处理；由CVD法进行成膜。并且，本发明的部件的特征在于：在由氮化物、氧化物、炭化物等的陶瓷或者钨、钼、钽等低热膨胀金属所组成的基材上，覆盖本发明的氮化铝膜。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 覆盖 部件 | ||
【主权项】：
一种氮化铝膜，其特征在于：按照日本工业标准JISZ8729所定义的明度L*为60或小于60。
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