[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 201110097578.X | 申请日： | 2011-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN102252798A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 德田智久;东条博史;木田希 | 申请（专利权）人： | 株式会社山武 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06;G01L13/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王轶;李伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供小型且高性能的压力传感器。该压力传感器具备：传感器芯片(10)；设置于传感器芯片(10)中央部的差压用隔膜(4)；设置于差压用隔膜(4)上的差压用测定元件(5)；设置于差压用隔膜(4)的外周部的静压用隔膜(17)；配置于静压用隔膜(17)端部的第1静压用测定元件(16d)；以及配置于静压用隔膜(17)的中央部的第2静压用测定元件(15b)。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种压力传感器，其特征在于，具备：基板；差压用隔膜，该压差用隔膜设置于所述基板的中央部；压差用测定元件，该差压用测定元件设置于所述差压用隔膜；两个静压用隔膜，这两个静压用隔膜设置于所述差压用隔膜的外周部；第1静压用测定元件，该第1静压用测定元件形成在所述两个静压用隔膜中的第1静压用隔膜的端部；以及第2静压用测定元件，该第2静压用测定元件形成在所述两个静压用隔膜中的第2静压用隔膜的中央部。
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