[发明专利]一种全自动步进数字化光刻装置

摘要

一种全自动步进数字化光刻装置，工控机分别连接SLM驱动器、数字图像采集卡和数字控制卡，数字控制卡连接程控开关控制器，程控开关控制器分别连接程控紫外光源和程控三维精密工件台控制器，程控紫外光源连接SLM，SLM分别连接SLM驱动器和分束镜，分束镜分别连接CCD和精缩透镜，精缩透镜连接程控三维精密工件台，CCD连接数字图像采集卡。本发明的技术效果是：该装置把人为因素的影响降到了最低，并且设计的精度高、稳定性好。

主权项

一种全自动步进数字化光刻装置，它包括工控机(1)、数字控制卡（2）、程控开关控制器(3)、SLM驱动器(4)、程控紫外光源(5)、程控三维精密工件台控制器(6)、数字图像采集卡（7）、SLM (8)、分束镜(9)、精缩透镜（10）、程控三维精密工件台(11)、CCD（12），其特征是工控机(1)分别连接SLM驱动器(4)、数字图像采集卡（7）和数字控制卡（2），数字控制卡（2）连接程控开关控制器(3)，程控开关控制器(3)分别连接程控紫外光源(5)和程控三维精密工件台控制器(6)，程控紫外光源(5)连接SLM (8)，SLM (8)分别连接SLM驱动器(4)和分束镜(9)，分束镜(9)分别连接CCD（12）和精缩透镜（10），精缩透镜（10）连接程控三维精密工件台(11)，CCD（12）连接数字图像采集卡（7）。