[发明专利]硅单晶炉炉盖观察窗无效
| 申请号： | 201110100368.1 | 申请日： | 2011-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN102181942A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 惠梦君 | 申请（专利权）人： | 无锡市惠德晶体控制设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B15/26 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 刘宗杰 |
| 地址： | 214174 江苏省无锡市惠山经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种硅单晶炉炉盖观察窗，其包括设置于硅单晶炉炉盖之上的第一观察窗和第二观察窗，所述第一观察窗和第二观察窗均设置于炉盖所处平面的水平方向上，所述第一观察窗的窗口处设置有2个摄像头，摄像头沿炉盖的径向线并列设置，上述硅单晶炉炉盖观察窗的第一、第二观察窗均设置于炉盖的水平方向上，第一观察窗窗口处沿炉盖的径向线并列设置有2个摄像头，使第一观察窗对摄像头的俯角范围很宽，因而可以适用于不同的工艺环境，同时摄像机的安装调试也很方便。 | ||
| 搜索关键词： | 硅单晶炉炉盖 观察窗 | ||
【主权项】：
一种硅单晶炉炉盖观察窗，其包括设置于硅单晶炉炉盖之上的第一观察窗和第二观察窗，所述第一观察窗的窗口处设置有若干个摄像头，其特征在于：所述第一、第二观察窗均设置于炉盖所处平面的水平方向上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡市惠德晶体控制设备有限公司，未经无锡市惠德晶体控制设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110100368.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
