[发明专利]一种颗粒状物料低温等离子体表面处理方法及其装置无效
| 申请号： | 201110101722.2 | 申请日： | 2011-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN102752950A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 王红卫 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H01J37/317 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种颗粒状物料低温等离子体表面处理方法，所述方法为：将颗粒状材料放入转鼓内，对其进行表面处理，转鼓内抽真空并可以定量通入反应气体，通过施加电场在转鼓内产生辉光放电等离子体。一种颗粒状物料低温等离子体表面处理装置，所述装置包括转鼓、电极、喂气口、挡板、颗粒物料、等离子体发生电源和抽气口。本发明方法使得原料不容易堆积覆盖，暴露在等离子体气氛中的表面得到较好的处理并且处理均匀性好，处理效率高，处理效果理想。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 颗粒状 物料 低温 等离子体 表面 处理 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种颗粒状物料低温等离子体表面处理方法，其特征在于，所述方法为：将颗粒状材料放入转鼓内，对其进行表面处理，转鼓内抽真空并可以定量通入反应气体，通过施加电场在转鼓内产生辉光放电等离子体。
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