[发明专利]板状体搬送装置

摘要

本发明提供一种能够抑制板状体的污染的板状体搬送装置。该板状体搬送装置设置有：送风式支撑机构，向板状体的下表面供给清洁空气，以非接触状态支撑板状体；推进力赋予机构，利用驱动机构旋转驱动对板状体的下表面的横宽方向的端部进行接触支撑的多个旋转辊，对板状体赋予搬送方向上的推进力；以及支撑体，以多个旋转辊位于横宽方向的内侧的方式，旋转自如地支撑多个旋转辊，该板状体搬送装置中，形成有导入部，该导入部使支撑体的横宽方向的内侧和外侧连通，使沿着被搬送的板状体的下表面并沿横宽方向流动的空气在多个旋转辊之间且与被搬送的板状体的下表面相同的高度从支撑体的横宽方向的内侧向外侧流通。

主权项

一种板状体搬送装置，具备：送风式支撑机构，向板状体的下表面供给清洁空气，以非接触状态支撑板状体；推进力赋予机构，沿所述搬送方向排列并配备对板状体的下表面的与搬送方向正交的横宽方向的端部进行接触支撑的多个旋转辊，利用驱动机构旋转驱动所述多个旋转辊，对由所述送风式支撑机构支撑的板状体赋予所述搬送方向上的推进力；以及支撑体，以所述多个旋转辊位于所述横宽方向的所述送风式支撑机构所存在的内侧的方式，将所述多个旋转辊旋转自如地支撑，其中，形成有导入部，该导入部使所述支撑体的所述横宽方向的内侧和其相反侧的外侧连通，使沿着被搬送的板状体的下表面并沿所述横宽方向流动的空气在所述多个旋转辊之间且与被搬送的板状体的下表面相同的高度从所述支撑体的横宽方向的内侧向外侧流通。