[发明专利]立体形状测量装置、检查装置及立体形状测量用调整方法

摘要

一种采用相移法测量的立体形状测量装置、检查装置以及立体形状测量用调整方法，能够容易地进行光栅条纹的位置调整。利用驱动部将光栅条纹狭缝从原点位置移动相当于平行条纹的配置间隔的距离、以及相当于该配置间隔的距离加上规定值后的距离或者减去规定值后的距离。然后，将在各移动位置拍摄的多张光栅条纹的图像与在原点位置拍摄的光栅条纹的图像相比较，根据该比较结果，判断将光栅条纹狭缝驱动光栅条纹一个配置间隔的量所需的驱动信号的驱动量。根据该判断来设定测量被测量物的立体形状所需的驱动信号的驱动量。

主权项

一种立体形状测量装置，包括：光栅条纹狭缝，配置在用于将来自光源的光投射到被测量物上的光路上，且以规定间隔具有平行条纹；驱动部，用于在所述平行条纹所配置的方向上移动所述光栅条纹狭缝；拍摄部，用于拍摄被投射有通过所述光栅条纹狭缝的来自所述光源的光的所述被测量物；以及控制部，利用所述驱动部将所述光栅条纹狭缝从原点位置移动相当于平行条纹的配置间隔的距离、以及在相当于所述配置间隔的距离上加上或减去规定值后的距离，并将在各移动位置所述拍摄部拍摄的多张光栅条纹的图像与在所述原点位置所述拍摄部拍摄的光栅条纹的图像相比较，根据比较结果，判断所述光栅条纹狭缝被所述驱动部驱动光栅条纹的一个配置间隔的量所需的驱动信号的驱动量，并根据所述判断，判定测量所述被测量物的立体形状所需的驱动信号的驱动量。