[发明专利]避免氧化炉管污染的方法有效
| 申请号： | 201110104371.0 | 申请日： | 2011-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN102755975A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 李春龙;李俊峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种避免氧化炉管污染的方法，将日常保养完成后的清洗由一次改为两次。其中，第一次为正常清洗，在第二次清洗前，先重新安装鳍状薄片，将下方的位置调到上方，然后再清洗一遍。这样，整个鳍状薄片的上下部分都会被清洗干净，不会再因温度低而留有污染死角。避免了因为清洗不干净而对正常生产的晶圆造成的污染。给实际生产带来了很大的益处。 | ||
| 搜索关键词： | 避免 氧化 炉管 污染 方法 | ||
【主权项】：
一种避免氧化炉管污染的方法，所述氧化炉管的石英部件包括石英管、石英舟、和鳍状薄片，在所述氧化炉的日常保养完成后对所述石英部件进行清洗，步骤如下：第一次清洗，向所述氧化炉的炉管中通入氢气和氧气混合生成的水蒸气，同时通入二氯乙烯，在800～1200℃下，清洗20～60分钟；然后先重新安装所述鳍状薄片，将其下方的位置调到上方；最后进行第二次清洗，向所述氧化炉的炉管中通入氢气和氧气混合生成的水蒸气，同时通入二氯乙烯，在800～1200℃下，清洗20～60分钟。
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