[发明专利]TE偏振的双脊熔石英1×5分束光栅无效
| 申请号： | 201110105695.6 | 申请日： | 2011-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN102156315A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 周常河;吴俊;曹红超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B27/28 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于800纳米波长的TE偏振的双脊熔石英1×5分束光栅，该分束光栅的光栅周期为1830～1850纳米，每个光栅周期内两个脊宽分别为143～146纳米和500～508纳米，两脊之间距为594～597纳米，脊深为872～875纳米。当TE偏振光垂直入射时，其透射光将分成等强度的5束光，这5束光总的衍射效率大于96％，并且其均匀性优于5％。本发明TE偏振双脊熔石英透射1×5分束光栅由电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。 | ||
| 搜索关键词： | te 偏振 双脊熔 石英 光栅 | ||
【主权项】：
一种用于800纳米波长的TE偏振的双脊熔石英1×5分束光栅，其特征在于该分束光栅的光栅周期为1830～1850纳米，每个光栅周期内两个脊宽分别为143～146纳米和500～508纳米，两脊之间距为594～597纳米，脊深为872～875纳米。
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